上海光機所大口徑釹玻璃加工取得重要進展

2019-06-06 18:11:26 来源: 延边信息港

  上海光机所恒益公司大口径钕玻璃加工取得重要进展,精抛光面形透射波前畸变可稳定优于1/3 ( =632.8 nm),技术指标达到国内大平面环抛加工水平,为国际同类产品加工先进水平,并具备小批量生产能力。

  上海光机所恒益公司围绕确定性环形抛光技术和生产过程控制,以工艺改进和效率提升为目标,从技术路线和管理路线两个方面进行攻关研究。目前,生产效能和加工工艺水平都取得重要进展,集中表现为:

  1) 產能得到有效提升,7個月內,月產能從2片/月提升到現在的15片/月;

  2) 产品技术指标提升,尤其是表面质量得到有效控制和改进,供货合格率得到大幅提高。

  大口径钕玻璃是高功率激光装置的核心元件,其工件尺寸接近一米,精密抛光的面形要求为透射波前畸变优于1/3 ,相当于0.21微米的平面度要求。在大尺寸钕玻璃上实现如此高的平面度,温梯度发生1℃的变化都会造成其面形畸变,技术难度高。

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